在设备层面,微型机电(MEMS)传感器的封装通常由外包的组装和测试(OSAT)公司执行。这些传感器可能包括加速度计、陀螺仪、磁力仪和麦克风,以及压力、温度、红外、生物医学、化学和气体传感器。第一层芯片包装格式包括腔地网格阵列(LGA),模压腔LGA,腔引线框(LF)设计类似于半导体封装。
即使在设备级别,某些应用程序(如汽车)需要更严格的设备包保护。例如,Amkor Technology是一家领先的Osat供应商,提供符合的包装:
- 汽车行业行动小组(AIAG)IATF 16949认证
- 汽车电子委员会(AEC)AEC-Q100.可靠性
然而,它需要更大的包装设计的努力,传感器必须接口到苛刻的媒体。例如,测量液压系统压力的传感器通常封装在一个外壳中,外壳有焊接不锈钢膜片,以隔离MEMS传感器及其相关电子设备。这些设计使用o形环密封装置,防止流体泄漏。最近,DunAn Sensing推出了它Mo系列这消除了O形圈和焊接,但符合国际标准化组织(ISO)ISO14903标准,用于制冷系统和热泵的组件和关节的紧密性。凭借其苛刻的介质兼容性,传感器可以解决各种应用,包括以下应用程序:
- 热泵
- 冷藏
- HVAC.
- 压缩机
- 阀门
- 气动
压力不是唯一需要特殊包装用于恶劣环境的传感器测量。例如,在工业应用中测量近距离采用特殊的设计努力,使包装足够坚固以存活。为满足这些要求,罗克韦尔自动化的艾伦 - 布拉德利部门提供粗糙的全不锈钢模型871fm.金属扁平封装电感近距离传感器。该版本提供了因子-1等于对抗焊场免疫的感测,适用于坚韧的应用。国际电工委员会(IEC)60529 IP67和IP69K额定型号也可满足其他恶劣的环境要求。
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