传感技术在半导体批量加工中扮演着关键的角色，在半导体批量加工中，每个批次的多个晶圆和多个晶圆需要一致的加工环境，以获得最高的产量和最低的成本。CyberOptics公司有两种解决方案来提供一致性和检测早期问题。
该公司的汽车多传感器(AMS/AMSR)可以在一个无线实时设备中测量水平、振动和湿度。有了Particle the Airborne Particle Sensor (APS2)，客户可以检测和识别降低产量的颗粒何时何地产生，并通过无线方式将数据传递给客户。
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