Trelleborg密封解决方案宣布推出其正在申请专利的Turcon®Variseal®PS,这是一种peek充电密封,在半导体湿处理应用中具有极低的浸出。该产品以其工程完整性而闻名,特别是在半导体应用中其优越的纯度。它是一种无金属成分的全聚合物产品。作为传统金属弹簧激励的Turcon®Variseal®的进一步发展,variiseal®PS采用了Turcon®夹套,通过使用PEEK聚合物来保持其密封能力。

在半导体等要求苛刻的行业,传统的密封方法面临着极端的考验。所有的金属都可能受到化学侵蚀,不管它们的成分是什么,当这种情况发生时,密封寿命就会急剧缩短。最重要的是,化学物质对金属的侵蚀会导致在这些敏感的半导体工艺中不可接受的污染。
“通过利用Peek Spring代替金属,离子浸出的风险显着降低。虽然FFKM在一些半导体应用中具有优异的优异,但Turleborg密封解决方案的产品经理Stuart Moares说,Turcon®PTFE和PEEK的组合优于湿法处理。“测试针对PTFE的众所周知的FFKMS,即使是高纯度等级的FFKMS也在每亿季度的阳离子中进入超过18,000分,而VARISEAL®PS每十亿分为每十亿分。”
TurconVARISEAL®SPS在高达176°F / 80°C的温度下操作,几乎所有化学品,它承受高达5,800 psi / 400bar的压力。它的尺寸为0.020英寸/3mm至90英寸/2.3m,用于定制或标准O形圈槽的配件,制作易于复制。
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