2E机电一体化的中热流传感器安装在3D模压互连设备(MID)包中，可以满足空间紧凑的多种应用需求。mems流量传感器的注塑成型热塑性表面贴装包，尺寸为12 × 10 × 6mm³。
该传感器通过使用MEMS技术的整体集成流道产生压力损失，并缩放应用的目标压差。
该传感器可以作为一个压差传感器在旁路和直接操作。空气直接操作的最大容积流量为10毫升/分钟。该传感器的响应时间小于10毫秒，功耗小于10兆瓦，可用于气体和液体。
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