John Meyer，高级航空航天高级业务发展经理
线性执行器在真空环境中有许多应用，包括引脚提升器、晶圆提升器、卷闸门等。挑战是如何通过压力边界提供线性驱动，同时保持腔室的密封完整性。
开发了一种将驱动和动态密封功能结合在一起的线性驱动器。它是金属波纹管式原动机驱动器。它被集成到一个装置中，作为密封和驱动力发生器。当压差通过波纹管时，它将压缩，从而驱动驱动器。当压力消除时，波纹管弹簧力将使执行机构缩回。全焊接结构提供了一个完全密封。
金属波纹管类型Prime Mover执行器在成本和性能方面提供了一些优点。该装置紧凑，将密封和致动功能组合成一个单元，允许整体更紧凑的设备设计。
因为没有磨损密封，原动机是免费维护，可以运行数百万次没有故障。
该执行器可以进行可调节，但不是必需的。它可以是出厂预设到特定的致动要求，可以将安装简化到系统中，因为不需要调整或校准。系统级集成更简单，减少了系统组件计数。
原动机提供轴向运动，没有引入转动力。由于执行器采用全金属结构，因此可以在低温至450°f的极端温度下使用。此外，全金属结构使其能够与最恶劣的化学物质、等离子体和流体兼容。
这些执行机构是准确和可重复的。上下止动z轴定位精度为±0.001英寸。，横向定位精度±0.005英寸。，重复性为±1 0.0005英寸。单元间均匀性在0.005英寸以内。整个行程。
Prime Mover适用于60-90 PSID压力范围，可产生40 - 80磅的驱动力。如果执行器直径更大，则可实现高达1000磅的驱动力。因为没有磨损密封，执行机构可以设计为1000万次或更大的循环。执行机构符合ISO 14644 1级要求。
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