弹性体O形圈是半导体设备内密封的常见选择。然而，离子可以浸出，导致污染。当受到侵略性媒体和气体时，它们也可以快速恶化。
Turcon®Variseal®是另一种密封选择。Turcon是一种基于ptfe的材料，几乎与所有的化学介质兼容，具有优异的耐磨性，可以承受摩擦和极端的工作温度。
由于聚四氟乙烯没有弹性，Turcon variiseal使用一个弹簧，适合于密封型材。然而，在一些半导体制造应用中，金属可提取物可以进入系统并迁移到晶圆中，造成短路并改变半导体的光学和电学特性。
Turcon®Variseal®Ultra-Cleantm以两种方式解决了这个问题。激活密封件的弹簧完全封闭在土耳其箱内。这意味着没有可能的金属提取物进入系统。
该产品还使用Turcon®MF，一种由高纯度聚四氟乙烯等级和添加剂生产的化合物。表面光洁，高光泽，低孔隙率，减少颗粒脱落。它还能承受高压，在空气中具有10-9 mbar x l/s的真空能力。而且，这些化合物的离子可萃取性很低。
Trelleborg密封解决方案
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