First Sensor正在推出新一代高精度电容硅惯性传感器，旨在快速增长的智能结构监测市场中的应用。新型传感器提供了记录风力涡轮机、桥梁和高层建筑的振动或倾斜变化所需的分辨率和低噪声密度，从而在早期发现结构或材料中的风险。这些高性价比的传感器集成在智能解决方案中，可确保结构在日常操作和发生风暴、地震、大负荷或地基变化等事件时的安全性。用于测量倾斜、加速度和振动的传感器由根据专利微机械工艺(HARMS, AIM)制造的硅传感器元件与密封SMD外壳中的信号处理ASIC组成。
确保桥梁和风力涡轮机等暴露结构的安全通常仍需要耗时的访问和检查。使用智能传感器的远程结构监测创造了一个有吸引力的增长市场，因为这些技术可以用于持续监测和分析建筑物、桥梁和风力涡轮机的状况和载荷。可以更有效地组织维修和安全措施，同时可以更好地评估地震、风暴和山体滑坡等异常事件后的潜在风险。
为了完成这些任务，First Sensor的惯性传感器根据带宽实现了10µg或0.0005°(2弧秒)的分辨率。除了标准型号外，First Sensor还开发了适用于特殊客户应用的机械和电气模块。为了支持项目和开发人员，可以使用评估工具包快速简便地评估和配置传感器。
专利技术
First Sensor的高精度惯性传感器甚至可以检测到位置或加速度的最小变化。它们不仅提供优越的性能特性，而且与现有解决方案相比，还具有出色的性价比。具有高纵横比(HARMS)的单晶硅微结构确保最小的交叉灵敏度，高信噪比和优异的温度稳定性。此外，AIM(气隙绝缘微结构)专利技术通过用气隙绝缘组件来最大限度地减少寄生电容。倾角传感器的测量范围为±30°，在测量频率为10 Hz时，噪声密度小于0.0004°/√Hz，分辨率小于0.0015°。当用作加速度传感器时，First Sensor的MEMS提供±3g、±8 g和±15 g的测量范围，在10 Hz的测量频率下实现小于30µg/√Hz的噪声密度和小于40 - 95µg的分辨率。
产品信息可在https://www.first-sensor.com/en/products/inertial-sensors/index.html．在制造商的工厂https://blog.first-sensor.com/en/mems-inertial-sensors-function，阐述了MEMS传感器的功能和精度;你也可以询问免费的网络研讨会。
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