Gatan Inc .)制作样品准备设备，最近还建造了一台新机器的原型。iPrep原型安装在扫描电子显微镜(SEM)上，并在处理室和扫描电子显微镜接收基座之间来回运送样品。在加工室内，两个宽束离子枪抛光样品。
iPrep的自动转移机制允许使用与sem相关的成像技术对样品区域进行3D重建，并精确控制切片厚度。
这是Gatan的alpha原型的扫描电子显微镜旁边的iprep机器。它是一个高真空兼容的接收码头 - 可以承受E-6 Torr的一个 - 具有运动机制，使样品能够以精度安装到每次1μm。在这个应用程序中，工作流程也包括数十种非常特定的操作......所有需要可靠的处理数千次。来自Gatan的Iprep平衡了几个参数来提供这些设计目标。
iPrep机器使用AllMotion控制器命令转印臂的末端执行器可以精确打开和关闭...并将样品载体移动到抛光室和SEM。另一个AllMotion EZHR23EN48V控制器是SEM内接收码头上的运动安装系统的一部分。步进电机驱动端部执行器和接收码头。
AllMotion EZHR23EN48V控制器+驱动程序具有可选择的步长分辨率，从半步到1/256步，每秒可达2000万微步。
ezhr23en48v是2.25 * 2.25英寸的控制器驱动。用螺栓固定在他们控制的步进电机的后面。控制器使用单一的四线总线和两根电源线和两根用于通信。简单的命令是通过任何串行终端程序或从EZStepper Windows应用程序。
因为Iprep执行的每次操作都发生在真空室中，所以当事情出错时，不可能听到或看到。因此，Gatan完全依赖于传感器数据（利用Ezhr23en48V接线，用于光学开关输入）以识别腔室中的问题。如果发生这种情况，则会停止工作流以进行维护。
该系统的主要规格在于在SEM中放置的重复性。3D重建只适用于非常低的位移和旋转之间的位置。“我们在扫描电镜(转移后)图像之间转换的容忍度在几个纳米量级，”Gatan项目经理和研究科学家Thijs Hosman说。另外，结合位移检测算法可以补偿一些图像之间的位移，但机械放置精度仍然必须在1µm的量级上。图像之间的旋转公差约为0.05°。制备室与扫描电镜之间的距离在1米左右。
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