XY-THETA对准阶段从OES具有高分辨率和可重复性

来自Optimal Engineering Systems Inc. (OES)的XYR-03-01对准工作台是一款高分辨率、高重复性的XY-Theta工作台，适用于角玻璃切割和磨削、晶圆对准、半导体处理、激光切割和钻孔等应用。

X和Y轴的线性分辨率为5μm（非微步）或0.125μm（在使用中每一步电动机驱动器20微秒），可重复性为1.5μm，位置精度为5μm。1毫米的每转螺钉和预载的V形槽和交叉滚子轴承增加了XYR-03-01对准阶段的高精度和刚度。x和y轴的线性行程为50 mm x 50 mm。

100毫米直径的θ阶段由精度90：1比率蜗轮驱动。Theta阶段的分辨率为0.02O（当不在MicroStep模式时）或每步使用电动机驱动器的0.001° - 20微步。重复性为0.005°定位精度为0.01°...... 0.005°齿隙。

两相步进电机是标准的。用于手动调节每个轴的旋钮可以用增量编码器替换为位置验证或闭环操作。这些黑色阳极氧化铝XY-THETA级易于集成到新的或现有系统中。兼容的运动控制器可从OES和XYR-03-01对齐阶段获得，也可以作为完整的即插即用系统订购。

OES是一家运动控制产品的制造商，包括:步进电机控制器和驱动器，电磁电子，定位平台和幻灯片。应用程序包括:动画，自动化装配系统，自动化，数控机床，飞行模拟，检查系统，线性和旋转stage，机床，医疗设备，运动控制摄像机臂架系统，光学比较器，三坐标测量机，倾斜云台，PCB组装和检查，拾取和定位stage，机器人，扫描仪，安全摄像机，望远镜驱动机构，延时摄影和绕线机。欲了解更多信息，请访问oesincorp.com。