Watlow®激动地宣布其新的EZ-ZONE®RM光纤温度测量系统，一款适用于等离子体环境的紧凑传感和控制解决方案。
传输电信号的温度传感器，如热电偶和rtd，暴露在等离子体室的电磁环境中，射频噪声耦合到传感器上并扭曲信号，通常会受到损害。光纤温度传感，使用荧光原理，使操作在等离子体环境提供稳定性，重复性和成本效益。因此，它们是理想的确定室组件的温度，如室盖，室挡板，静电卡盘，边缘环和淋浴喷头。
凭借其在控制系统方面的优势，Watlow将荧光传感技术与其强大的EZ-ZONE RM控制平台相结合，为最新的半导体加工工具创建了一个集成解决方案。两个版本使系统能够适应所有的系统需求。
EZ-ZONE RMZ集成了光纤，PID温度控制和EtherCAT®通信功能到一个单一的包。它具有多达48个回路的输入和控制与所有EZ-ZONE RM温度控制功能，包括I/O，逻辑，电流测量，电源开关和更多。
对于那些不需要实现EtherCAT®的人来说，EZ-ZONE RMF模块是一个专用的光纤输入模块，集成了EZ-ZONE控制系统的功率，具有1至8通道光纤温度传感。它可以作为一个级联模块或配置内置温度控制回路。这两个模块为系统设计人员提供了一个集成的解决方案，可以根据需要灵活地扩展传感/控制区域的数量。EZ-ZONE RMF可以单独使用时，只需要传感。
与等离子室相关的房地产是昂贵的。Watlow的光纤温度测量系统非常紧凑，只有144立方英寸，可以安装在din导轨上，最大限度地减少安装占地面积。集成的光纤探头(传感头)是根据许多因素定制的，包括应用环境，温度制度，尺寸限制和材料兼容性。
该系统的其他优点还包括更快的温度采样速率、高分辨率、高精度的荧光信号处理电子设备和高可靠的LED光源，设计为在低电流下运行，以获得最大的寿命。
半导体事业部市场总监Ray Derler表示:“我们的光纤温度测量和控制系统的推出标志着该技术领域的重大进步。“虽然传感技术在性能和可靠性方面得到了显著改进，但该产品超越了传感器作为一个组件的范畴，为设备设计人员带来了新的系统级优势。我们很自豪地介绍我们的光纤温度测量系统，因为该系统将提供的好处。我们的客户一直告诉我们，他们需要一个更好的解决方案，以解决可靠性、准确性和系统级封装问题。我们的新系统是等离子体室温度传感和控制的理想创新。”
Watlow
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