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真空预紧空气轴承是如何工作的?

通过丹妮尔柯林斯|7月26日,2021年

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空气轴承比滚动轴承有几个优点,包括更高的行程精度和减少摩擦和产生热量。但是由于空气是可压缩的,空气轴承可以比类似的滚动轴承更低的刚度和表现出更大的挠度(尽管刚度特征空气轴承非常线性)。然而,空气的可压缩性质可用于产生预载的空气轴承,这增加了其刚度。

就像在滚动元件轴承中预载预紧力是滚动元件和滚道之间产生的载荷,预紧力是轴承和导轨表面之间产生的载荷。在空气轴承上有四种常见的诱导预紧力的方法:通过给轴承增加质量,通过施加磁力,通过施加真空,或通过在导轨表面的相对两侧安装两个空气轴承。

空气轴承预载方法
图片来源:G. Khim, C-H Park

无论预加载方法如何,随着负载施加到空气轴承(无论是通过添加的质量,相反的力,磁力,磁力或真空),空气膜都均受支撑轴承压缩,气隙变小,压力空气膜增加,空气膜变硬。

空气轴承僵硬
由于空气轴承上的预加载增加,因此刚度也是如此。
图片来源:Roger Cortesi,麻省理工学院

每一种预压方法都有优点和缺点,但对于那些增加质量会显著损害加速度和建立时间, where space constraints make it difficult to mount two air bearings in an opposing orientation, or where adding magnetic material to the surfaces would be too costly, vacuum preloading offers a relatively simple solution that doesn’t add mass or require special assembly and mounting considerations.

真空预紧空气轴承
图片来源:PI Nelson Air

虽然气压和真空似乎将相互作用,但与轴承压力相比,用于预载的空气轴承的真空水平相对较低,因此轴承仍通过施加的空气压力从引导表面抬起。

为了达到预紧力,真空作用于轴承表面的一部分-通常是中心部分。这意味着轴承压力被施加在周长周围,形成一个密封,以容纳真空区域,并防止真空从环境中吸取任何污染。真空区和轴承区之间的沟槽连接到环境压力,防止出轴承空气和真空之间的流动。预紧力等于真空面积的大小乘以承载压力和真空量之间的差值。

真空预紧空气轴承
真空预载的空气轴承通常用于平面阶段。
图片信用:PI

施加真空的区域处的压力与轴承飞行高度(上方的距离)无关,因此即使飞行高度的变化,也使得预加载保持恒定。例如,如果飞行高度增加,轴承区域中的压力降低,使得轴承经历更高的拉力(预载)。气压与真空之间的这种相互作用确保了预紧力与给定飞行高度的压力之间的平衡。

真空预紧空气轴承不仅具有高刚度,通过调节轴承压力和真空之间的差值,空气膜的厚度-和反过来,飞行高度-可以调整,使真空预加载版本的理想应用涉及超细,精确的垂直定位,如镜头聚焦。


了下:线性运动技巧


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