在2022年IEEE国际超声研讨会上，国际领先的纳米电子学和数字技术研究和创新中心imec展示了一种与平板显示(FPD)工艺技术兼容的压电微加工超声传感器(pMUT)阵列。该阵列显示了高于1kPa的半空中声压，这是一个与启用半空中触觉和定向声音....相关的压力水平