通过丽莎Eitel|2021年1月21日 特殊夹紧皮带轮和衬套组件使硅片处理机的性能最大化 在最近的一次机器重新设计中,总部位于佛罗里达州的机器制造商Hine Automation在他们的SL-200C真空盒对盒晶圆处理系统中增加了精密工程滑轮套组件,以提高性能。这台机器的功能是在真空下将晶圆片从晶圆盒转移到晶圆加工模块。这些动作是由计算机控制的。海恩自动化……