航空科技公司的QNP2系列XY,平行运动学,压电纳米定位台结合亚纳米分辨率,高动力学和优良的几何性能在一个紧凑,低调的封装。QNP2-100-XYA具有50毫米× 50毫米的透明孔径,闭环传播可达100 μ m × 100 μ m(开环传播可达120 μ m × 120 μ m)。该设计是理想的光学显微镜,扫描探针显微镜,x射线透射显微镜,和其他应用的双边部分访问是必需的。
精密纳米定位舞台设计
QNP2压电工作台采用平行运动弯曲和计量设计,确保多轴精度的最高水平。fea优化的精密弯曲确保高刚度和长设备寿命。高刚度和谐振频率使特殊的过程吞吐量和快速闭环响应。正在申请专利的驱动器设计最小化偏航误差,同时保持阿贝兼容的计量系统。
所有QNP2压电级可提供闭环反馈(-C)或开环(无反馈)。独特的电容式传感器并行计量设计直接测量定位支架的输出,实现0.15 nm分辨率,0.01%线性度和1 nm双向重复性。
可选的超精密控制
Aerotech的q系列控制器和驱动器提供了各种方便的软件选项。动态控制工具箱和运动设计器包有许多先进而易用的工具,如学习控制、谐波消除和命令整形,以改善跟踪误差和增加步进和固定时间。Aerotech的控制器架构很容易实现压电级、伺服、步进和油门之间的高速、严格控制的协调运动。
可选的安装板可以直接安装到英制或公制面包板光学表,并提供一个坚实的桌面。QNP2压电阶段也提供自定义材料和真空制备版本。
如需进一步信息,请直接致电412-967-6854与史蒂夫·麦克莱恩联系,或通过电子邮件(电子邮件保护)或者访问aerotech.com的纳米定位阶段产品页面的深度链接。
- 正在申请专利的设计提供了无与伦比的几何性能;通过并行运动学设计,获得优越的多轴精度
- 定制材料和真空版本;测量范围为120 μm x 120 μm;50 x 50毫米清晰的方形孔径
了下:直线运动提示
