75页的目录显示了一系列线性和旋转定位系统。工作台跳动精度低,使用机械线性轴承。目录包括单多轴精度阶段的分辨率到5纳米和内置电机和控制器。它还详细介绍了可用的驱动机构,如滚珠丝杠,直线电机,压电电机。

Steinmeyer公司。
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75页的目录显示了一系列线性和旋转定位系统。工作台跳动精度低,使用机械线性轴承。目录包括单多轴精度阶段的分辨率到5纳米和内置电机和控制器。它还详细介绍了可用的驱动机构,如滚珠丝杠,直线电机,压电电机。

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