新一代PRIME MOVER执行器的性能显著提高:
- 原动机提供轴向运动，不涉及转动力。该驱动器采用全金属结构(无弹性体)，因此它可以在极端温度下使用，低温至450°F。此外，全金属结构使其能够与最苛刻的化学物质、等离子体和流体兼容。这些执行机构平滑，准确和可重复。上下止动z轴定位精度为±0.001英寸。
- 原动机适用于60-105 PSID压力范围，可产生40 - 80磅的驱动力。如果执行器直径更大，则可实现高达1000磅的驱动力。因为没有磨损密封，执行机构可以设计为1000万次或更大的循环。执行机构符合ISO 14644 1级要求。
- 横向定位精度提高到±0.002英寸。重复性为±0.0005英寸。单元间均匀性在0.005英寸以内。整个行程。新型非弹性体整体阻尼器在极端温度下控制冲程顶部和底部的冲击载荷，这是气动驱动晶圆升降机的典型问题。
- 原动机现在可编程，非接触位置传感。可编程霍尔效应位置传感器允许精确和可重复的传感，而不穿透压力屏障。它们有能力根据一个预定值的磁场的存在来输出信号。该值可以在安装前预编程，也可以在组装级编程，这可以考虑整个系统中磁铁和传感器之间的任何公差堆栈。
- 原动机中的传感器具有可编程的迟滞水平，低至零迟滞，这是传统的簧片开关无法实现的。它们还具有可编程的温度补偿，即传感器自动补偿由于温度而改变的磁体磁场。增加的位置传感器可以替代电机上使用的编码器在更传统的伺服/步进电机执行器。
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