最佳工程系统,Inc。(OES)已发布新系列的高精度X轴级,具有整体旋转定位级。本系列中的四个X-ant-θ阶段具有以下的线性旅行:15毫米(0.591英寸),30毫米(1.181英寸),50毫米(1.968英寸)和75毫米(2.953英寸)。旋转台能够在任一方向上连续360度旋转,直径为100mm(3.937英寸)。还提供60毫米(2.362英寸)。
X轴阶段在高精度交叉滚子轴承上移动,并在每匝精度接地螺钉上由高达5毫米/秒的速度驱动。具有3微米可重复性,X轴级的线性分辨率为0.5微米(每一步电机驱动器中的10微秒)和0.25微米(每一步电机驱动器中的20微秒),位置精度为10微米。

直径100mm直径级由精度180:1比率蜗轮驱动。θ阶段的分辨率为0.001度(每一步电机驱动器中的10个微步)。重复性为0.005度,位置精度为0.01度,间隙为0.005度。表中的螺纹孔的精确模式简化了工具的安装。两相步进电机是标准的。用于在每个步进电机上进行手动调整的旋钮可以用增量编码器替换为位置验证或伺服电机。这些紧凑,黑色阳极氧化铝X和-THETA级易于集成到新的或现有系统中。兼容运动控制器可从OES获得,X-Plus-Theta级也可订购为完整的即插即用系统。
这些高分辨率,高可重复性X和-THAA级适用于角度玻璃切割和研磨,晶片对准,半导体处理,激光切割,钻孔,加工,扫描,检查,装配和测试等应用。
有关更多信息访问www.oonsincorp.com.。
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