PI(Physik Instrumente)将在今年的Lam / LME(激光添加剂制造/激光器为制造活动)上显示其最新的旋转空气轴承级系列在斯卡穆尔格会议中心的3月27日3月27日显示。π’s new A-635/A-637 PIglide low-profile stages have no rolling or sliding elements and deliver frictionless, non-contact motion, resulting in negligible reversal error, better wobble, eccentricity and velocity stability – ideal prerequisites for high-end industrial applications such as inspection, metrology, calibration, and scanning, including cleanroom environments.
纳米定位在任何方面:50nm平坦度,±50nm偏心,1μmrad摆动
仔猪RL旋转级可提供高精度,平坦度和摆动性能。这些阶段具有3阶段,低齿槽扭矩电机,具有500rpm和光学编码器,提供出色的性能,如0.0015μrad分辨率±2μrad双向重复性和±6μrad的绝对精度(具有误差补偿和ACS运动控制器)。几何性能也优异,50nm平坦度,±50nm径向跳动和1μrad摆动。有2个运动平台直径为200或300mm的尺寸,可以组合各种选项,以创建一个适用于点对点索引或恒定速度扫描的解决方案。这些旋转定位器具有几乎无限的寿命,没有佩戴或需要维护的部件。
实质性设计和制造经验,定制系统
PI在美国设计和制造所有空气轴承产品。PI的工程团队拥有200多年的空气轴承设计经验。除了为oem定制系统,PI还提供大量标准的空气轴承工作台产品线,包括电动和非电动、线性、旋转、球形、X/XY、音圈、紧凑和大型系统,作为现有的全面系列压电纳米定位工作台的补充。传统的电动定位器和六脚六轴平行定位系统。添加独特的空气轴承技术使π能够覆盖整个运动从指尖大小的nano-positioners与长旅行范围大规模的阶段,通过大量不同的驱动器和指导系统,可以满足OEM或客户的需要。
提交:编码器•光学那电机(直接驱动)+无框架电机





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