来自IntelliDrives的大面积行程X-Y级可通过稳定的闭环控制系统和相关的操纵杆选项的组合提供精确的精细定位和控制。此外,阶段可以与公司的Z阶段组合,以形成理想地适用于激光扫描显微镜的XYZ阶段。行驶范围为300 x 300和600 x 300 mm,可重复性为10微米,分辨率为1微米,负载高达30千克。

这些阶段可以使用步进电机和具有编码器的无刷伺服电机机动。还提供可选的高分辨率,非接触式线性编码器。该非联系人编码器提供了卓越的可重复性和在一系列操作条件下的稳定性。数字和模拟输出版本都有分辨率在子微米范围内。
满足了高精度,强大,XY级的需求,这些阶段满足了这些Intellidrive阶段,这些阶段解决了扫描显微镜,晶圆和印刷电路板检查,自动组装和各种样品和样品在许多类型的成像技术中扫描的独特需求和应用程序。
有关更多信息,请访问www.intellidrives.com.。
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