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KUKA公司开发了用于洁净室芯片搬运的移动机械手

通过世界编辑器设计|2019年8月23日

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KUKA公司开发了用于芯片搬运的移动机械手

库卡的晶片处理系统包括一个AMR,一个iiwa cobot和软件。来源:库卡

为了生产为手机、汽车和机器人提供智能的半导体,硅被加工成晶圆。这些晶圆在洁净室的条件下存储在塑料盒中,制造过程需要许多步骤。由于预计计算机芯片的需求将会增加,制造商们已经开始寻找进一步自动化生产的方法。作为回应,KUKA AG开发了所谓的“世界上第一个单一来源的晶圆处理解决方案”。

总部位于德国奥格斯堡的KUKA公司上周表示,已开发出可以自动转换和处理半导体盒式半导体的晶片处理系统。的移动操作申请包括一辆标准化的自动导引车辆(自主移动小车)和服务证明LBR iiwa轻量级的机器人。

该公司还开发了复杂的夹持系统和控制软件。

KUKA为洁净室提供机器人

机动性由KMR 200cr移动平台提供。这个平台有Mecanum轮子它可以实现全方位的运动。平台上的传感器实时感知环境,从而避免碰撞。

的人机协作,LBR iiwa安装在平台上。灵敏度机器人使其能够安全、无振动地处理精密晶圆盒。

该应用的第三个组成部分是KUKA获得专利的定制抓取系统。

库卡移动机械手

洁净室应用旨在安全自动化晶圆处理。来源:库卡

软件控制移动机器人舰队

用于晶圆处理的洁净室应用程序的硬件和软件都来自KUKA。晶片处理软件解决方案无缝地融入半导体的制造执行系统(MES)制造商该公司表示。

车队经理集成到软件中,控制转移订单,以确保最优自动化半导体生产。所有的解决方案都来自一个单一的来源,并经过认证。这导致了极短的调试时间,使系统成为市场上最灵活的处理系统,声称库卡.


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了下:机器人的报告,机器人技术•机器人抓手•末端执行器
标记:库卡

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