吉时利仪器(Keithley Instruments)宣布对其自动化表征套件(ACS)软件进行增强,支持其不断扩大的大功率半导体表征解决方案系列。ACS包针对自动晶圆片级参数测试应用进行了优化,包括自动化表征、可靠性分析和已知良好的模具测试。ACS V5.0更新特别利用了吉时利2651A(高电流)和2657A(高电压)系统源表SMU仪器的高功率能力,以实现大功率半导体器件(如功率mosfet, igbt, bts,二极管等)的自动晶圆级测试。

Keithley已将各种增强功能纳入ACS V5.0:
- 设计用于型号2651A(当连接两个单元时最多50A或100A的型号)和2657A(最多3,000V)系统SourCeMeter SMU仪器的高功率器件库和2657A(高达3,000V)系统的SMU仪器与较低功率系列2600B SourCemeter一起测试多终端电源组件SMU仪器或型号4200-SCS参数分析仪以速度和简化创建模块和序列,用于测试电源MOSFET,IGBT,BJT,二极管等等功率半导体器件。
- 支持高功率模型2651A和2657A的硬件扫描,识别和配置管理,因此用户可以快速将这些仪器连接到PC,确认连接,并开始测试。
- 支持2600系列SMU仪器,配备了TSP-Link间通信总线,利用了用于多处理器环境的板载测试脚本处理器(TSP)技术,同时加速和简化测试项目开发时提供高并行吞吐量。
- 基于早期ACS版本中提供的广泛的低功耗可靠性测试功能的测试项目(如高电压晶圆级可靠性(WLR))示例,为用户提供了快速创建或修改新测试的良好起点。
- 支持4200-SCS参数分析仪模型4200-CVU-PWR C-V电源包选项的±200V C-V功能,以提供广泛的I-V和C-V测量能力,可满足半导体功率分量。
吉时利仪器
www.keithley.com.
提交:测试和测量提示那半导体




