GF100系列MFC高速EtherCAT连通和GFC135高级诊断帮助用户应对临界气化学控制挑战并提高子20nm节点进程产值

GF100序列响应对下一代工具与编程快速变化的需求,

• 嵌入式诊断作用实时EtherCAT数据采集能力
• 超稳定流传感器(小于0.15%S.P.下定点精度并减少维护需求
• 改善阀门关机减少阀门漏水, 最小化潜在优先动画
• GF100压力瞬态敏锐度小于1%5 si/sec压力扰动会降低对持续大流传递的交互感知

GF135高压不敏感MFC可自诊断性,如整体下降速率流测量,不阻塞流程气流帮助半导体制造商验证过程气体精度,检查开关漏出并实时监控传感器稳定性而不从气管中去除流控制器并减少停机

使用实时误差检测技术后,用户可减少偏差和因不可接受流偏差和不必要的预防性维护检查而损失的生产时间GF135PTIMFC还提供流程气体精度和快速流沉定点时间,帮助提高生产率和分室比对

Brooks乐器
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文件基础:半导体制造
标签用法 :brooksinstrument

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