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高分辨率,高可重复性Xyr对准阶段来自OES

经过迈尔斯布达维尔|2019年8月27日

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来自最佳工程系统,Inc。(OES)的两种新的经济XγR(THETA)对齐阶段为工业,医疗,半导体,研究和实验室应用提供了高精度和可重复性。XYR-01-01和XYR-01-02对准阶段在x和y轴上的行进±7.5 mm,旋转±180°(θ)。

XYR-01-01和XYR-01-02对准阶段具有0.25μm的x和y轴的线性分辨率(使用中的每一步电机驱动器的微步);每个的可重复性为1.5μm,位置精度为5μm,间隙为2μm。1毫米的接地接地螺钉和预载的V形槽和交叉滚子轴承增加了这些对准阶段的高精度和刚度。

阶段

XyR-01-01的60mm直径Theta阶段由90:1精确的蜗轮驱动,并且XyR-01-02的100mm直径Theta级由精度180:1蜗轮驱动。每个θ阶段的分辨率为0.001°(每个阶梯电机驱动器中的微步)。重复性为0.005°,位置精度为0.001°,间隙为0.005°。

两相步进电机是标准的,用于手动调节每个轴的旋钮可以用增量编码器代替,用于定位验证,或用伺服电机和用于闭环操作的编码器。这些黑色阳极氧化铝XY-THETA级易于集成到新的或现有系统中。兼容运动控制器可从OES获得,XYR-01-01和02对齐级也可以作为完整的即插即用系统订购。

有关更多信息,请访问www.oonsincorp.com.。


提起:线性运动提示那电机•步进
标记:阶段

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