ETEL的新型ZAO力控致动器增加了其广泛的先进运动系统。在其他应用中,ZAO适用于半导体拣选和放置,模具粘接和探测机器。

结合ETEL的AccurET控制器,ZAO力控致动器是一种最先进的解决方案,在应对下一个力控挑战的同时,降低了机器拥有成本。
ZAO是一种30毫米行程执行机构,具有无摩擦轴承安排和轻的移动质量,确保低和可重复的力应用,以及在接触表面上的低力超调。
建立充分利用ETEL的无传感器力控制算法,ZAO同时具有严密的力控制精度(0.2 N±10%)和高动态能力(高达20 g)。
ZAO旨在解决新的先进包装技术和材料驱动的新半导体后端和电子挑战,特别是确保脆弱组件或靶基材的完整性而不损害机器吞吐量。
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