这些PWM（脉冲宽度调制）伺服驱动器包括双轴EtherCAT驱动器。NPMPM系列EtherCAT伺服驱动模块可提供先前仅使用线性驱动器可实现的运动性能，而无需此类线性驱动器的缺点。这些驱动器显着较小，更有效，产生较少的散热，更好地保护和降低成本。
当与可选的10 MHz激光编码器接口和控制算法一起使用时，定位系统可以：
- 实现高于2米/秒的速度
- 有亚纳米抖动值
- 具有纳米速度跟踪误差
- 表现出极低的安定时间
- 表现出系统鲁棒性，对扰动和负荷变化的最小灵敏度。
NPMPM是在任何ACS EtherCAT主机下运行的从服务器。纳米wm型驱动适用于晶圆计量检测、FPD检测、光学元件超精密加工等领域。
ACS运动控制
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