- 紧凑的舞台与旅行到100毫米
- 精密研磨滚珠丝杆传动
- 直流伺服或步进电机
- 高分辨率（0.025μm），可重复性（±0.1μm）和精度（±0.75μm）
一个紧凑的，高性能的线性定位平台，航空科技的MPS75SLE具有异常平稳的旅行结合出众的精度，可重复性和定位分辨率25纳米的能力。理想的应用包括光学定位，z轴定位的传感器在表面计量和一般用途的高精度对准。快速和直接的多轴配置很容易与其他MPS线性和旋转阶段使用适配器支架和安装兼容性的整个MPS阶段家族。
精度结果的精度设计
精密接地，预加载的滚珠丝杠与低热膨胀线性编码器相结合，提供出色的精度，重复性和定位分辨率至25nm。抗蠕变，交叉滚子轴承在紧凑的封装中提供异常平滑的行程和高负载能力。低热膨胀（3.3PPM /˚C）精密玻璃刻度编码器在长时间导致高精度和可重复定位。线性编码器可提供放大的正弦（1 VPP）或50nm TTL数字输出，以便与所有标准控制器轻松集成。
高度可配置的灵活性
MPS75SLE电机选项包括具有高分辨率旋转编码器的直流伺服电机或步进电机。就像MPS75SL, SLE是可选的和没有风箱道盖。一个可选的安装板提供了直接安装的英国和公制光学面包板，而固有的安装兼容性之间的所有MPS阶段导致简单的发展多轴安排。
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