通过集成电容传感器的输入，Beeensgate Instruments的最新数字压电转换器（DPT）系列执行器
提供精确定位和快速沉降。传感器允许致动器通过小于2ms的响应时间和0.5nm（rms）重复性，实现低至0.09nm（rms）的位置分辨率。致动器可以在整个闭环范围内移动高达60kg的负载，从20μm到110μm运行。
DPT-D具有最佳的类定位性能和更紧凑的DPT-E目标应用包括干涉测量，半导体掩模 - 晶片卡盘对准，光束对准，空腔调谐，自适应光学，扫描探针显微镜以及各种不同的计量任务。
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