这种无刷直流电动机满足涡轮分子真空泵应用的高速要求。涡轮分子泵用于半导体器件制造过程中,需要高度压缩的气体进行化学沉积和注入。
该泵采用了特殊设计的电机驱动涡轮转子,能够运行转速高达70000转。极高的速度对于将真空压力降到一微斯卡是必不可少的。这种无框永磁无刷直流电动机(型号# DIP14-14-000A)尺寸为1.4英寸。直径x 1.4英寸。在轴向长度。转子/定子部件组配置允许电机转子直接耦合到负载。不锈钢套筒将磁铁固定在极限速度下。
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