Zygo公司很高兴地宣布推出全新的ZPS绝对位置测量系统，该系统采用超紧凑型光学传感器技术。ZPS系统能够实现高精度测量和位置控制的先进应用，如可变形光学、透镜定位系统和精细舞台控制。
ZPS系统提供高达64个同步通道的高精度、非接触式绝对位置测量。其主要特点包括一种新型超紧凑型光学传感器和硬件平台，在1.2 mm范围内提供卓越的灵敏度、分辨率和稳定性。先进的光学传感器几乎不产生热量，对电磁干扰不敏感，测量分辨率达到0.01 nm，测量稳定性优于1 nm/day。
此外，ZPS系统利用光纤电缆，可以在不影响测量数据的情况下使用远程传感器位置。可选配件可实时自动补偿环境条件的变化。
ZYGO精密定位系统产品经理Ernesto Abruña表示:“ZPS系统通过将简化的集成度、可扩展性、可靠性和性能整合到单个系统中，代表了近程位置测量传感器的下一步发展。
凭借这些独特的功能，ZPS系统非常适合许多需要多轴运动闭环控制的纳米定位应用，特别是在可变形光学组件和复杂的光学系统中。”
Zygo集团。
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