来自Aerotech的新型QNP-XY系列压电纳米定位工作台提供了从显微镜到光学对准最苛刻的应用所需的分辨率、线性度、重复性和高动态。分辨率为0.15 nm,线性度为0.007%,重复性为2 nm,纳米级精度得到保证。在尺寸和行程方面,与任何其他类似阶段相比,具有最高的动力学(共振频率和刚度),用户可以在严格的流程中实现更高的吞吐量。其他选项包括各种行程(100 μm到600 μm),反馈选项和真空版本。
QNP压电阶段通过使用有限元分析优化的精度弯曲来指导。由此产生的设计提供出色的刚度和谐振频率(高达885 Hz),可实现高处理吞吐量和快速闭环响应。此外,集成的XY套件最小化阶段堆叠高度和移动质量,导致静态静态和动态的多轴性能。
所有QNP压电级提供可选的闭环反馈,使用电容式传感器设计,亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位架的输出,使其具有更高的精度和重复性。
当与Aerotech公司的q系列控制器和驱动器相结合时,QNP压电级表现出亚纳米级的定位分辨率和位置稳定性(抖动),以及高定位带宽。软件选项,如Aerotech的动态控制工具箱和运动设计器软件包,提供了许多先进但易于使用的工具,如学习控制、谐波消除和命令整形,提供改进的跟踪错误和更快的步进和稳定时间。
Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈(开环)。对于尺寸紧凑、高动态和亚纳米定位分辨率要求,但不要求绝对定位精度和重复性的应用场合,开环提供了一种性价比高的选择。开环设计也可以用于通过外部反馈源(干涉仪,视觉系统,光电探测器等)控制压电位置的地方。
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