几十年来,PI为真空水平提供的阶段和系统,从10-3毫巴到10-9毫巴,为定位和对准提供可靠的运动控制。
来自PI - 精密运动和高真空和UHV的最新目录和用于高真空和UHV的定位解决方案 - 显示PI的专业设计能力,因为大多数标准产品都是用真空兼容性的,从线性和旋转级到6轴六角形。
Gallus博士的白皮书《真空环境中的运动和定位》深入探讨了设计真空系统时必须考虑的具体问题……
包括操作速度,工作台寿命,润滑剂和涂层的使用,材料选择,高真空和超高真空的烘烤温度,等等。
负责PI真空技术研究和开发的技术工程师Jürgen Gallus博士说:“在全世界的研究和开发领域,从小型外延过程到大型波束设施,都使用真空环境。
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PI是精密运动控制设备,压电电动机,空气轴承级和六角峰平行运动学的领先制造商,用于半导体应用,光子,生物纳米技术和医学工程。PI一直在开发和制造标准,定制精密产品,有四十年的压电陶瓷和电磁驱动器。
了下:线性运动技巧




