测量和分类各种可燃气体,Nevadanano.在一个名为分子特性光谱仪或MPS传感器的单一硅芯片上具有集成的多个互补化学传感器。
该芯片专利的微悬臂阵列具有集成的压电传感元件提供电动驱动和谐振频率的感测。监测共振是一种高度敏感的方式来测量非常小的各种吸附的化学物质。与更昂贵的光学感测方法不同,压电传感器的阵列提供了低成本,鲁棒装置以电监测气体。
用其内置的电阻加热器中,MPS可以进行热分析(例如差示扫描量热法)的分类和处理样品后甚至清洁每个传感器。在一个坚固的工业设计使用微机电系统(MEMS)技术,MPS不漂移,腐烂或毒物,并且需要在其生命周期不需要维护。
利用小尺寸的MEMS压电传感元件,传感器可以加热到数百摄氏度,制作各种高精度的热测量,然后在几毫秒内冷却至室温。额外的集成组件允许感测系统检测小型光谱尺度质量并以0.01度分辨率测量温度。MPS传感器可在-40°C至75°C的温度下,并在所有非凝盈湿度水平下运行。
根据这项技术,目前可用的产品包括:
- MPS易燃气体传感器
- MPS A2L制冷剂气体传感器
- MPS甲烷气体传感器
在不久的将来,可以区分有毒和无毒化合物的室内空气质量(IAQ)MPS传感器。
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