PI miCos (www.pimicos.com)宣布发布其最新系列的高精度空气轴承旋转台,提供高速,高动态和极高的精度。
UBR-AIR系列高精度空气轴承旋转工作台有四种不同的级,直径从100毫米到270毫米,轮廓高度仅为55毫米,负载能力高达40公斤。
UBR-AIR轴承工作台由直接驱动扭矩电机驱动,并安装有参考级光学直接计量刻度编码器。此外,它们还可以实现角分辨率低至0.00002度,重复性为0.00003度,最大速度为每秒360度。
除了将摆动最小化到1.25 μrad,空气轴承还将摩擦降低到最小,同时提供优越的速度、寿命和速度恒定。
该平台具有显著的平整度和±0.07 μm的低偏心,非常适合于同步光学精密定位、半导体晶圆检测、x射线衍射以及光学计量和检测等各种应用。
无刷直接驱动扭矩电机,直接耦合驱动与移动舞台平台,确保舞台将提供更长的使用寿命和高速度。直接驱动优化了加速能力、角刚度和动力学,同时消除了滞后和间隙。
了下:直线运动技巧,轴承,电机(直驱)+无框电机,视觉•机器视觉•相机+镜头•框架抓取•光学滤光片
