半导体，显微镜和分析仪器的开发正在推动运动控制系统的需要更快地运行，更精确，吞吐量更大。真空和大气应用中的运动要求，在1nm水平上具有尺寸稳定性，以及更高的占空比和可靠性。
NanoMotion的新型机动家庭通过实现500mm /秒的速度和前所未有的精度来增加超声波常设波动电动机服务的应用范围。结合AB7驱动器的性能，利用SE电机的运动平台在真空，绝对位置稳定性和整体系统吞吐量中彻底改变操作占空比。
增强的内部电机结构从现有的HR电机和2倍的效率产生3倍的刚度。网络结果是：
- 在运动方向上增加自然频率
- 减少安定时间
- 更高的占空比
- 较低的功耗（发热）
- 较长的操作寿命
所有这些因素在真空和大气环境中都证明了在半导体，生物医学和仪表应用中的成功。
AB7驱动器支持所有SE电机配置，并将AB1A（正常交流模式），AB2（DC模式）和AB5（线性模式）的各种模式相结合。另外，AB7将电机电压分辨率提高到以前的驱动器上的10倍，以促进慢速恒定速度。
半导体行业的趋势决定了在大于100mm / sec的速度下移动几公斤的能力，在1nm内沉降和保持位置。NanoMotion设计了利用SE电机满足这些目标的许多运动平台。
用于UHV操作的XY系统支持28kg负载，可达100mm / sec，并提供3小时内的位置稳定性<1nm。利用AB7驱动器中的DC模式，该系统能够稳定由于诸如热漂移或振动的外部因素而稳定位置。
在100mm /秒的真空施用中，SE电机系列将支持50％以上的占空比，速度较慢的占空比高达100％。相对称地，HR电机通常可以在这些速度下支撑占空比从26％到8％。对新一代EBEAM工具来说特别重要，支持EUV应用，延长的占空比和位置稳定性是关键的推动器。
显微镜中的大气应用指示低速平滑度，更高的占空比和更好的跟踪精度。SE电动机的刚度和效率的增加是促进在高占空比上工作的能力，该运动平台精确且快速。
传统HR2电动机和SE2电动机的比较，反射功率和速度显示了SE电机带来运动系统的益处。SE电机可以在HR电机的类似速度下起作用，有一半的功耗。SE电机提供双可用速度以及在更高的占空比工作的能力。
纳米语的SE电机和AB7放大器开发产生了增加压电驱动运动解决方案应用基础的机会。我们将电机融入各种系统设计，并向市场提供电机/驱动组合。SE最终将适应一系列标准阶段，这些阶段可以受益于速度，分辨率，位置稳定性和吞吐量的增加。
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