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新型高精度线性工作台系列,适用于超高真空应用

通过保罗Heney|2020年6月5日

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PI (Physik instrument) LP介绍了一种新的高精度线性平移台系列,适用于高真空(HV)和超高真空(UHV)应用。L-509真空级系列提供3种不同的真空级别:10-6 hPa, 10-7 hPa,和10-9 hPa。

提供26mm,52mm和102mm的线性运动范围。精密接地滚珠螺杆和高分辨率电机允许亚微米分辨率,其位置可重复性高达0.1微米。

新型真空线性级系列是为满足真空兼容性而从头设计的,每个部件都能在规定的条件下工作。所有的东西,从基材,螺母和螺栓,编码器,电缆,极限开关都被选择为最佳性能。

具有带有位置反馈编码器的闭环伺服电机的阶段变型可烘烤高达250°F(〜120°C),而对于最高的真空水平,使用步进电机(开环操作)。在此,可以达到高达300°F(〜150°C)的烘烤温度。

物理学Instrumente
www.pi-usa.us en


了下:运动控制技巧
标记:physikinstrumente

关于作者

保罗Heney

Paul J. Heney是《设计世界》杂志的副总裁兼编辑总监,拥有工程科学与力学学士学位,佐治亚理工学院的技术通信和生物医学工程辅修专业。他在流体动力、航空航天、机器人、医疗、绿色工程和一般制造领域有近25年的写作经验。他的文章获得了美国商业出版编辑协会颁发的许多地区性和全国性的奖项。

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