PI (Physik instrument) LP介绍了一种新的高精度线性平移台系列,适用于高真空(HV)和超高真空(UHV)应用。L-509真空级系列提供3种不同的真空级别:10-6 hPa, 10-7 hPa,和10-9 hPa。
提供26mm,52mm和102mm的线性运动范围。精密接地滚珠螺杆和高分辨率电机允许亚微米分辨率,其位置可重复性高达0.1微米。
新型真空线性级系列是为满足真空兼容性而从头设计的,每个部件都能在规定的条件下工作。所有的东西,从基材,螺母和螺栓,编码器,电缆,极限开关都被选择为最佳性能。
具有带有位置反馈编码器的闭环伺服电机的阶段变型可烘烤高达250°F(〜120°C),而对于最高的真空水平,使用步进电机(开环操作)。在此,可以达到高达300°F(〜150°C)的烘烤温度。
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