PI公司的新型PIHera Z柔性导向压电纳米定位台，行程范围为50µm到250µm(开环400µm)。
弯曲导向压电定位平台提供几乎无限的分辨率和快速响应的无振动运动。由于缺少滚动元件，没有轴承隆隆声影响运动的均匀性或直线度。PIHera精密闭环z级配备了绝对测量直接计量电容传感器，分辨率低至0.1nm，采用紧凑的FEA优化封装，高刚度和长寿命。与推断的计量反馈相比，直接计量提供了更高的稳定性和线性度——通常基于压电电阻应变计，PI也可用于入门级压电纳米定位器。成本效益，定位精度0.02 %，可选的真空兼容性，使这些紧凑的阶段理想的应用，要求无摩擦，无振动，定位与高线性。
由PI专有的PICMA®压电陶瓷驱动(由NASA/JPL测试了1000亿次，并在火星探测器上使用)，PIHera压电级具有独特的性能，在长期研究和工业应用中尤其重要，包括耐温范围为-20至80℃。
典型的应用包括微制造、光子学和光学对准、半导体测试设备、生物技术、表面计量、纳米计量和纳米定位等。
欲了解更多信息，请访问www.pi-usa.us．
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