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采用音圈电机和空气轴承滑动设计的微型纳米定位台

经过kzebrowski.|5月18日,2021年

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洁净室兼容,这款新型高性能非接触式微型线性滑块适用于晶圆检查,扫描/计量,纤维对准,激光微机械和标记,自动聚焦和基因组测序等应用。

PI的空气轴承运动产品线再次膨胀。新的A-142高性能紧凑型纳米定位和线性对准级设计有音乐线圈电机和无摩擦空气轴承滑块,具有出色的精度。这种薄型纳米定位阶段仅为27毫米(1.1英寸),是免维护,并且由于其非粒子发电机和引导原理,洁净室兼容。它提供10mm(0.4英寸)的75x80mm(≈3×3英寸)移动平台的无滞圈线性行程,同时支撑高达3kg(6.6磅)的负载。

气浮导轨直线度100nm,平整度0.5µm。集成音圈电机实现了高运动性能,最大速度为450mm /s,加速度为20m/sec2,在动态扫描和定位应用中具有很大优势。又小又快!更大的灵活性校准和计量操作在Z实现可选气动平衡,允许垂直安装而不损失电机性能。a -142可以作为一个独立的纳米定位设备,但对于多轴运动要求,也可以组合和集成到XY和XYZ组件。

高精度工业自动化过程中的字段,如半导体测试和计量,基因组测序,生物技术,医疗工程,高分辨率显微镜,光学和光子制造。

有关更多信息,请访问pi-usa.us.。


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