有时必须在最小的级别进行测量。Queensgate的NX纳米传感器具有测量到原子尺度的位置变化的敏感性。
主要应用包括：舞台反馈，振动测量，计量，变形测量，精密制造，漂移测量，精密光束转向和显微镜。
非接触位置测量系统由两个传感器板组成 - 一种靶和形成平行板电容器的探针。使用NS2000控制器模块，可以精确地确定这两个板的间距。位置可以确定为优于晚上7点（微观镜头）的边缘，线性度为0.02％，50 Hz的带宽高达10kHz。
圆形，方形或矩形形状，有效区域为22.5毫米2，113毫米2和282毫米2可用。
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