形成现代生活的组成部分的半导体需要极其精确和清洁的制造环境。在可以确保正确处理的传感器中是空降粒子传感器。通过网络视频空气传播粒子传感器(APS2),半导体制造商可以通过实时无线监测空气颗粒来改善其FAB的设备设置和长期收益率。
通过APS2,半导体制造商可以容易地监控,识别和使空气颗粒的故障排除至下降至0.14μm,在其过程设备和自动材料处理系统中。传感器识别粒子何时以及何时使用无线测量来速度速度的设备资格。APS2用于公司的PolarerView软件,用于实时设备诊断。
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