PI的P-763 XY纳米定位阶段是PI各种压电舞台定位器的新的,更实惠的补充。紧凑型P-763挠性导向级具有小于3×3英寸(70x70mm)的占地面积,同时提供30x30mm光圈。对于200×200微米的大型旅行范围,这种压电定位系统非常适用于苛刻的应用,例如图像稳定,微光刻,纳米对准,表面计量,超分辨率显微镜和生物纳米技术和光子学和Datacomm。

可靠性
PI的MARS-ROVER测试陶瓷绝缘压电执行器技术保证了卓越的可靠性,在100亿次循环终身测试后证明优越。
表现
这种高性能XY纳米定位器专为OEM和研究中的成本敏感应用而设计,需要非常高的精度,高吞吐量和快速步骤,并且需要几毫秒落入几毫秒。配备电容性,直接计量位置传感器,纳米定位阶段也非常适合于静态定位应用,其中无漂移的长期稳定性是必不可少的。
驱动技术和准确性
p -763.22纳米定位压电工作台是一种多层压电驱动工作台,提供亚纳米分辨率和快速响应,用于快速步进和稳定或高速扫描应用。它的电容反馈,运动的线性是例外的,只有0.02%的偏差,从一个完美的直线,当在激光干涉仪上测试。
控制器和软件
各种OEM和台式控制器可满足用户的预算和应用,每个PI压电控制器配有丰富的软件工具和编程示例。PIs E-725先进的数字伺服控制器,例如提供多达3个运动通道24位分辨率和超低噪声DAC转换器的卓越闭环性能。所有的运动和伺服参数可以在飞行中用户优化。集成了多种数字和模拟接口,提供以太网、USB和RS-232通信接口。
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