Aerotech的QNP高清线性压电纳米定位工作台在一个紧凑、高刚度的封装中提供了工作台和驱动器的优点。具有直接计量,电容式传感器反馈选项,高谐振频率,高负载容量,QNP高清适用于广泛的高速和高精度应用,如扫描探针显微镜,磁盘驱动器测试和半导体晶圆拼接。

直接驱动驱动器设计和优化结构,使响应和移动和稳定时间达到毫秒级。FEA优化的精密挠曲确保高刚度,长设备寿命,高动力学,同时保持卓越的几何性能的关键纳米定位应用。
可选的闭环反馈使用独特的电容传感器设计,允许亚纳米分辨率和单位数纳米线性误差。电容式传感器直接测量定位架的输出,使其具有更高的精度和重复性。
当与Aerotech的q系列控制器和驱动器结合时,QNPHD显示了亚纳米定位分辨率和高定位带宽。Aerotech的动态控制工具箱和运动设计师软件包提供了一系列先进而易于使用的工具,如学习控制、谐波消除和命令塑造,提供改进的跟踪误差和更快的步进和稳定时间。Aerotech的FlashConfig功能自动识别舞台、所有操作参数,并上传轴校准数据,确保安全、准确和真正的即插即出操作。
QNPHD可提供后方和侧电缆出口选项以及安装功能,为水平和垂直方向。这种灵活性允许用户以最优的安排来定位和包装舞台,而无需设计各种适配器板和支架,增加尺寸和设计复杂性。定制设计和真空准备版本可根据要求。
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